究極の機械研磨をＡＦＭ計測しました

先日出来上がった究極の機械研磨をＡＦＭで評価しました。
あの後もいろんなテストを繰り返していますが、全ての結果が良好なもので、面方位に依存することなく、また、単結晶以外のＳｉＣにも適応できることを確認しました。

ＡＦＭですが、ご覧のとおりの画像とＲａとなっており、かなり粗さが小さくなっていることがわかると思います。（画像をクリックすると大きくなります）
















「従来の機械研磨」　
Ｒａ：0.917
















「究極の機械研磨」
Ｒａ：0.256
















「ＣＭＰ」
Ｒａ：0.147



※ＫＯＨでの評価は後日

このあとは、ＣＭＰを含めた工程に適応させ、ダメージフリー（＝エピレディー）を意識した最適化を行い、トータルコストをどれだけ抑えることが出来るかを調べていくつもりですので、ご期待ください。

展示会のブースにきていただければ、もう少し詳しくお話できると思いますので、ぜひおこしください。