研削機設置

研究用に研削機を設置しました。

インゴットの外周とオリフラ加工のための研削機は、自社で設計製作したものを使っていますが、単純に平面を研削するものは持っていませんでした。
今回設置した研削機は、インゴットの加工にも使いますが、ウェハを研削しそのダメージがどの程度の影響を及ぼすかの研究に使用するつもりです。

装置の確認のために失敗したインゴットの頭を研削した画像です。


昔、平面研削機を使っていたことがありますが、それよりかなり速く加工できるので感激しています。でも、速く加工する条件だとチッピングが激しいので、時間を犠牲にしてやわらかい加工条件になっていく予感がしています。

来年は、ある条件を実現するために研磨機を導入する予定にしていますが、しばらくはあっちこっちに行ってテスト加工になると思っています。