研究用の研磨機を設置

雪の降る中、研究用の研磨機を設置しました。

プログラムに工夫を凝らし、自由度の高い運転ができるようにしてあり、今までの経験にさらに磨きをかけ、さらに平坦度の高いメカニカルポリッシュを目指します。

研磨によるダメージはメカニカルな研磨工程が問題だと認識しており、研削工程も含めた見直しを行い短時間＆少ない研磨量で加工が終了するようにしたいと考えています。

 

今日は、基本的な動作の確認だけで、明日からテストウェハを使っての研磨実験が始まります。